一种集成电路元器件的新型光刻机

专利摘要:
本实用新型提供了一种集成电路元器件的新型光刻机，涉及光刻机技术领域，圆球外壳表面均匀开设有若干个气孔；光刻台前端右侧通过螺栓安装有吸风机，且吸风机下方开设有吸风口，吸风口外侧套接有螺纹管，且螺纹管末端设有把手，把手朝向于螺纹管的一侧固定有对接管，且螺纹管与对接管相互套接，把手末端两侧均嵌接有吸盘，可同时起到中和静电以及除尘的效果，相比弧板可将气流的扩散范围加大，小孔也可将基板表面吸附住，在取出基板的同时，不易将基板刮伤，保证基板外观的良好，解决了静电很容易对基板造成损伤，影响到基板后期工作的良好，基板光刻时难免会出现偏差情况，操作员发现偏差后无法快速将基板取出的问题。
公开号:CN214335466U
申请号:CN202120463088.6U
申请日:2021-03-03
公开日:2021-10-01
发明作者:刘健
申请人:Shanghai Ouxun Mechanical And Electrical Engineering Co ltd；
IPC主号:G03F7-20

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其是涉及一种集成电路元器件的新型光刻机。
[n0002] 光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
[n0003] 现有光刻机在对集成电路基板进行光刻加工时，因为集成电路为电子元件，在光刻过程中空气中带有细小的静电，静电很容易对基板造成损伤，影响到基板后期工作的良好；并且光刻机中大多由设定好的传料结构对基板进行传料，在设定时间内才可传输基板，而基板光刻时难免会出现偏差情况，操作员发现偏差后无法快速将基板取出。
[n0004] 本实用新型要解决的技术问题是：静电很容易对基板造成损伤，影响到基板后期工作的良好，基板光刻时难免会出现偏差情况，操作员发现偏差后无法快速将基板取出，针对现有技术存在的问题，提供了一种集成电路元器件的新型光刻机。
[n0005] 为解决现有技术问题，本实用新型公开了一种集成电路元器件的新型光刻机，包括光刻台和离子风机，所述离子风机嵌入安装于光刻台左上角；
[n0006] 所述离子风机顶部开设有出风口，且离子风机顶部并位于出风口外侧套接有排风管，所述排风管上方设有弧板或附属管，且弧板下方中部开设有连接口，所述弧板右壁均匀开设有若干个排风口；且附属管下方转动连接有轴承，所述轴承下方转动连接有连接管，且附属管顶部固定有圆球外壳，所述圆球外壳表面均匀开设有若干个气孔；
[n0007] 所述光刻台前端右侧通过螺栓安装有吸风机，且吸风机下方开设有吸风口，所述吸风口外侧套接有螺纹管，且螺纹管末端设有把手，所述把手朝向于螺纹管的一侧固定有对接管，且螺纹管与对接管相互套接，所述把手末端两侧均嵌接有吸盘，且把手末端面并位于吸盘内侧均匀开设有若干个小孔。
[n0008] 优选的，所述光刻台顶面后端安装有光刻组件，且光刻台顶面通过螺栓连接有承载台。
[n0009] 优选的，所述连接口通过螺纹与排风管顶部转动连接，且弧板内部呈中空状，所述排风管内部与弧板内部相通，且弧板朝向于承载台上方左侧。
[n0010] 优选的，所述连接管通过螺纹与排风管顶部转动连接，且连接管内部与排风管内部之间相通，所述附属管、轴承与连接管内部之间相通，且圆球外壳内部呈中空状。
[n0011] 优选的，所述光刻台底壁且位于吸风机上方开设有左右对称排布的两个对接槽，且吸盘与对接槽滑动连接，所述把手悬挂于对接槽下方。
[n0012] 优选的，所述把手内部呈中空状，且螺纹管、对接管和把手内部相通。
[n0013] 优选的，所述承载台呈正方形，且吸盘对应于承载台中的斜向对立的两个角。
[n0014] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
[n0015] 如需要使用弧板进行排风工作，可将连接口对准排风管顶部并拧入，通过连接口将弧板连接好，此时离子风机的出风口排出气流，气流会从排风管导向弧板内部，由弧板将气流从多个排风口导出，因为弧板呈弧形，所以排风口能够进行较大范围的扩散，且弧板位于承载台上方左侧，由弧板进行导风，能够将离子风机所排出的气流扩散至基板光刻的位置，以便针对基板的光刻位置消除静电，避免空气中的静电接触到基板时对基板造成损坏；
[n0016] 如需要使用圆球外壳进行排风工作，可捏住连接管，并且通过螺纹将连接管拧入排风管上方，完成圆球外壳与排风管的安装，通过排风管将气流导入连接管中，因为附属管、轴承与连接管内部之间相通，所以气流直接被输入到圆球外壳内，由多个气孔进行排风工作，气孔在圆球外壳外侧进行三百六十度的排风，可同时起到中和静电以及除尘的效果，相比弧板可将气流的扩散范围加大；
[n0017] 取下把手将吸风机开启，握持把手将把手拉伸至承载台，基板与承载台的形状相互匹配，可调节吸盘靠近基板斜向对立的两个角，再将把手轻压至基板上，吸盘即可吸附住基板的顶面，同时吸风机的吸风口让螺纹管以及把手内部产生吸力，多个小孔也可将基板表面吸附住，在取出基板的同时，不易将基板刮伤，保证基板外观的良好。
[n0018] 图1为本实用新型的整体结构示意图；
[n0019] 图2为本实用新型的排风管与弧板结构拆分示意图；
[n0020] 图3为本实用新型的圆球外壳结构示意图；
[n0021] 图4为本实用新型的把手结构示意图；
[n0022] 图5为本实用新型的把手结构内部示意图。
[n0023] 图中标记：光刻台1、光刻组件101、承载台102、离子风机2、排风管3、弧板4、连接口401、排风口402、附属管5、轴承501、连接管502、圆球外壳6、气孔601、吸风机7、螺纹管701、把手8、对接管801、小孔802、吸盘9。
[n0024] 为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[n0025] 请参阅图1-图5，一种集成电路元器件的新型光刻机，包括光刻台1和离子风机2，所述离子风机2嵌入安装于光刻台1左上角；
[n0026] 所述光刻台1顶面后端安装有光刻组件101，且光刻台1顶面通过螺栓连接有承载台102；
[n0027] 具体的，首先将光刻台1平稳放置好，接着将需要进行光刻的集成电路基板放置于承载台102内，光刻组件101位于承载台102正上方，将基板放置好后，通过光刻组件101可对基板进行光刻工艺，将电路图形光刻至基板上；
[n0028] 所述离子风机2顶部开设有出风口，且离子风机2顶部并位于出风口外侧套接有排风管3，所述排风管3上方设有弧板4或附属管5，且弧板4下方中部开设有连接口401，所述弧板4右壁均匀开设有若干个排风口402；且附属管5下方转动连接有轴承501，所述轴承501下方转动连接有连接管502，且附属管5顶部固定有圆球外壳6，所述圆球外壳6表面均匀开设有若干个气孔601；
[n0029] 进一步的，为了避免空气中各微小的静电影响到集成电路板的正常光刻工作，在加工集成电路基板时，可将离子风机2开启，且选用弧板4或是圆球外壳6进行排风；
[n0030] 所述连接口401通过螺纹与排风管3顶部转动连接，且弧板4内部呈中空状，所述排风管3内部与弧板4内部相通，且弧板4朝向于承载台102上方左侧；
[n0031] 实施例一：如需要使用弧板4进行排风工作，可将连接口401对准排风管3顶部并拧入，通过连接口401将弧板4连接好，此时离子风机2的出风口排出气流，气流会从排风管3导向弧板4内部，由弧板4将气流从多个排风口402导出，因为弧板4呈弧形，所以排风口402能够进行较大范围的扩散，且弧板4位于承载台102上方左侧，由弧板4进行导风，能够将离子风机2所排出的气流扩散至基板光刻的位置，以便针对基板的光刻位置消除静电，避免空气中的静电接触到基板时对基板造成损坏；
[n0032] 所述连接管502通过螺纹与排风管3顶部转动连接，且连接管502内部与排风管3内部之间相通，所述附属管5、轴承501与连接管502内部之间相通，且圆球外壳6内部呈中空状；
[n0033] 实施例二，如需要使用圆球外壳6进行排风工作，可捏住连接管502，并且通过螺纹将连接管502拧入排风管3上方，完成圆球外壳6与排风管3的安装，通过排风管3将气流导入连接管502中，因为附属管5、轴承501与连接管502内部之间相通，所以气流直接被输入到圆球外壳6内，由多个气孔601进行排风工作，气孔601在圆球外壳6外侧进行三百六十度的排风，可同时起到中和静电以及除尘的效果，相比弧板4可将气流的扩散范围加大，加上圆球外壳6通过附属管5和轴承501可进行旋转，在气流排出时，圆球外壳6会进行一定幅度的摆动，进一步加强气流的扩散范围；
[n0034] 所述光刻台1前端右侧通过螺栓安装有吸风机7，且吸风机7下方开设有吸风口，所述吸风口外侧套接有螺纹管701，且螺纹管701末端设有把手8，所述把手8朝向于螺纹管701的一侧固定有对接管801，且螺纹管701与对接管801相互套接，所述把手8末端两侧均嵌接有吸盘9，且把手8末端面并位于吸盘9内侧均匀开设有若干个小孔802；
[n0035] 所述光刻台1底壁且位于吸风机7上方开设有左右对称排布的两个对接槽，且吸盘9与对接槽滑动连接，所述把手8悬挂于对接槽下方；
[n0036] 所述把手8内部呈中空状，且螺纹管701、对接管801和把手8内部相通；
[n0037] 具体的，初始状态下把手8通过吸盘9挂置于对接槽下方，把手8可被收纳好，当需要取出基板时，可将把手8从对接槽下方取出，吸盘9滑出对接槽，然后将把手8拉起，通过螺纹管701牵引把手8，螺纹管701由PVC塑料管制成，可发生形变以及伸缩，取下把手8后将吸风机7开启，握持把手8将把手8拉伸至承载台102；
[n0038] 所述承载台102呈正方形，且吸盘9对应于承载台102中的斜向对立的两个角；
[n0039] 进一步的，基板与承载台102的形状相互匹配，可调节吸盘9靠近基板斜向对立的两个角，再将把手8轻压至基板上，吸盘9即可吸附住基板的顶面，同时吸风机7的吸风口让螺纹管701以及把手8内部产生吸力，多个小孔802也可将基板表面吸附住，在取出基板的同时，不易将基板刮伤，保证基板外观的良好。
[n0040] 本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。

权利要求:
Claims (7)
[0001] 1.一种集成电路元器件的新型光刻机，包括光刻台(1)和离子风机(2)，所述离子风机(2)嵌入安装于光刻台(1)左上角，其特征在于：
所述离子风机(2)顶部开设有出风口，且离子风机(2)顶部并位于出风口外侧套接有排风管(3)，所述排风管(3)上方设有弧板(4)或附属管(5)，且弧板(4)下方中部开设有连接口(401)，所述弧板(4)右壁均匀开设有若干个排风口(402)；且附属管(5)下方转动连接有轴承(501)，所述轴承(501)下方转动连接有连接管(502)，且附属管(5)顶部固定有圆球外壳(6)，所述圆球外壳(6)表面均匀开设有若干个气孔(601)；
所述光刻台(1)前端右侧通过螺栓安装有吸风机(7)，且吸风机(7)下方开设有吸风口，所述吸风口外侧套接有螺纹管(701)，且螺纹管(701)末端设有把手(8)，所述把手(8)朝向于螺纹管(701)的一侧固定有对接管(801)，且螺纹管(701)与对接管(801)相互套接，所述把手(8)末端两侧均嵌接有吸盘(9)，且把手(8)末端面并位于吸盘(9)内侧均匀开设有若干个小孔(802)。
[0002] 2.根据权利要求1所述的一种集成电路元器件的新型光刻机，其特征在于：所述光刻台(1)顶面后端安装有光刻组件(101)，且光刻台(1)顶面通过螺栓连接有承载台(102)。
[0003] 3.根据权利要求2所述的一种集成电路元器件的新型光刻机，其特征在于：所述连接口(401)通过螺纹与排风管(3)顶部转动连接，且弧板(4)内部呈中空状，所述排风管(3)内部与弧板(4)内部相通，且弧板(4)朝向于承载台(102)上方左侧。
[0004] 4.根据权利要求1所述的一种集成电路元器件的新型光刻机，其特征在于：所述连接管(502)通过螺纹与排风管(3)顶部转动连接，且连接管(502)内部与排风管(3)内部之间相通，所述附属管(5)、轴承(501)与连接管(502)内部之间相通，且圆球外壳(6)内部呈中空状。
[0005] 5.根据权利要求1所述的一种集成电路元器件的新型光刻机，其特征在于：所述光刻台(1)底壁且位于吸风机(7)上方开设有左右对称排布的两个对接槽，且吸盘(9)与对接槽滑动连接，所述把手(8)悬挂于对接槽下方。
[0006] 6.根据权利要求1所述的一种集成电路元器件的新型光刻机，其特征在于：所述把手(8)内部呈中空状，且螺纹管(701)、对接管(801)和把手(8)内部相通。
[0007] 7.根据权利要求2所述的一种集成电路元器件的新型光刻机，其特征在于：所述承载台(102)呈正方形，且吸盘(9)对应于承载台(102)中的斜向对立的两个角。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120463088.6U|CN214335466U|2021-03-03|2021-03-03|一种集成电路元器件的新型光刻机|CN202120463088.6U| CN214335466U|2021-03-03|2021-03-03|一种集成电路元器件的新型光刻机|